Agilent Varian ターボパージバルブ、20 SCCM 1/4 Swagelok x M12、ほとんどの中型 Agilent ターボ分子真空ポンプに適合、PN 9699242
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Agilent Varian 部品番号 PN: 9699242。
これらの Agilent Varian ターボパージバルブは、固定 20 SCCM 流量、1/4 Swagelok ガス供給フィッティングを備えており、M12 ベントポートスレッドを備えたほとんどの中型ターボ分子真空ポンプで動作するように設計されています。ベントポートの 2 番目と 3 番目の写真と、取り付け方法を示す漫画をご覧ください。手順は、TwisTorr 305 FS マニュアルの 247 ページにも記載されています。ガスパージバルブは、ポンプ内に侵入する可能性のある微粒子や腐食性ガスからポンプベアリングを保護する保護装置です。すべてのバルブは、カートリッジに取り付けられた薄い較正済みサファイアオリフィスで作られており、チューブの各側に 2 つの特殊な PTFE メンブレンを備え、正確な小さなリーク率を提供します。これは、微粒子、粉末、液体が細い穴に入り込んで塞ぐのを防ぐためです。バルブの各バージョンは、特定のアプリケーションに適しています。- 腐食性ガスの分圧が最大 10-5 mbar の場合の軽度の腐食操作用の小さなリーク (1000 mbar で約 10 sccm) (分析機器、イオン注入装置)。 - 腐食性ガスの分圧が >10-5 mbar の場合、腐食性の高い操作 (エッチング、CVD) では、大きなリーク (1000 mbar で約 20 sccm) が発生します。異なる流量を使用する場合は、供給圧力を変更できます。特定の供給圧力に対して、ガス パージ バルブは固定の流量値を提供できます。流量はバルブの真空側圧力に依存しないことに注意してください。これらのターボ パージ バルブの Agilent Varian 部品番号は PN 969-9242 です。
次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:
次の Agilent Varian ターボ ポンプで動作します:
- TwisTorr 74 FS
- TwisTorr 84 FS
- TwisTorr 305 FS
- TwisTorr 305-IC
- TwisTorr 404 FS
- TwisTorr 704 FS
- TwisTorr 804 FS
- Turbo-V 1001
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