Vanne de purge turbo Agilent Varian, 20 SCCM 1/4 Swagelok x M12, convient à la plupart des pompes à vide turbomoléculaires Agilent de taille moyenne, PN 9699242

Ces vannes de purge turbo Agilent Varian ont un débit fixe de 20 SCCM, un raccord d'alimentation en gaz Swagelok 1/4 et sont conçues pour fonctionner avec la plupart des pompes à vide turbomoléculaires de taille moyenne qui ont un filetage d'orifice de ventilation M12. Veuillez consulter les deuxième et troisième photos de l'orifice de ventilation et le dessin animé montrant l'installation, les instructions sont également présentées dans le manuel TwisTorr 305 FS à la page 247. La vanne de purge de gaz est un dispositif de protection pour protéger les roulements de la pompe contre les particules et les gaz corrosifs qui pourraient pénétrer dans la pompe. Chaque vanne est fabriquée avec un orifice en saphir calibré mince monté dans une cartouche pour fournir un faible taux de fuite précis, avec deux membranes PTFE spéciales de chaque côté du tube. Cela permet d'éviter que des particules, de la poudre et tout liquide ne pénètrent dans le trou mince et ne l'obstruent. Chaque version de la vanne est adaptée à une application particulière : - la petite fuite (~ 10 sccm à 1000 mbar) pour un fonctionnement légèrement corrosif lorsque la pression partielle du gaz corrosif est au maximum de 10-5 mbar (instruments d'analyse, implanteurs ioniques) ; - la fuite importante (~ 20 sccm à 1000 mbar) pour les opérations fortement corrosives (gravure, CVD), lorsque la pression partielle du gaz corrosif est > 10-5 mbar. Si vous souhaitez utiliser un débit différent, vous pouvez modifier la pression d'alimentation. Pour une pression d'alimentation donnée, la vanne de purge de gaz peut vous donner une valeur de débit fixe. Veuillez noter que le débit ne dépend pas de la pression côté vide de la vanne. Ces vannes de purge turbo portent le numéro de pièce Agilent Varian PN 969-9242.

Fonctionne avec les pompes turbo Agilent Varian suivantes :

• TwisTorr 74 FS
• TwisTorr 84 FS
• TwisTorr 305 FS
• TwisTorr 305-IC
• TwisTorr 404 FS
• TwisTorr 704 FS
• TwisTorr 804 FS
• Turbo-V 1001