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Edwards Novellus C3 Micro TIM 控制模块，适用于 Edwards EPX、iGX、GX、iXH、iXL、干泵，D37360360

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Edwards Novellus C3 Micro TIM 模块
D37360360

Novellus C3 Micro TIM 为带有 MicroTIM 插槽的干泵提供 Novellus C3 平台的工具接口。Novellus C3 Micro TIM 模块可用于通过并行数字接口通过您的工艺工具控制和监控各种 Edwards 泵。Novellus C3 Micro TIM 与以下 Edwards 泵兼容。

  • EPX 系列
  • iGX 系列
  • GX 系列
  • iXH 系列
  • iXL 系列
  • 也可用于带有系统控制器的多泵系统。
如果这些模块已经存在，它们可用于通过您的工艺工具或其他控制设备对泵进行控制和监控。查看左侧下载部分中的 Micro TIM 或 iTIM manuals.pdf，了解并行连接输入和兼容性信息。

EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf (EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf, 953 Kb) [下载]

Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf, 1,226 Kb) [下载]

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