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Edwards Novellus C3 Micro TIM 控制模組，適用於 Edwards EPX、iGX、GX、iXH、iXL、乾泵，D37360360

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Edwards Novellus C3 Micro TIM 模組
D37360360

Novellus C3 Micro TIM 為具有 MicroTIM 插槽的乾泵提供了 Novellus C3 平台的工具介面。 Novellus C3 Micro TIM 模組可用於透過您的製程工具使用平行數位介面來控制和監控各種 Edwards 幫浦。 Novellus C3 Micro TIM 與以下 Edwards 幫浦相容。

  • EPX系列
  • iGX 系列
  • GX系列
  • iXH 系列
  • iXL 系列
  • 也可用於多泵 有系統控制器的系統。
如果這些模組已經存在，它們可用於提供控制和監視 由您的製程工具或其他控制設備控制幫浦。 查看左側下載部分的 Micro TIM 或 iTIM 手冊.pdf，以了解並行連接輸入和相容性資訊。

EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf (EdwardsMicroTIM_InstructionManual.pdf, 953 Kb) [下載]

Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf, 1,226 Kb) [下載]

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