Edwards EPX, iGX, GX, iXH, iXL, 건식 펌프용 Edwards Novellus C3 마이크로 TIM 제어 모듈, D37360360
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D37360360
Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프를 위한 Novellus C3 플랫폼에 대한 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 프로세스 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다.
- EPX 시리즈
- iGX 시리즈
- GX 시리즈
- iXH 시리즈
- iXL 시리즈
- 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에서도 사용 가능.
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