Edwards Novellus C3 マイクロ TIM 制御モジュール、Edwards EPX、iGX、GX、iXH、iXL、ドライ ポンプ用、D37360360
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D37360360
Novellus C3 Micro TIM は、MicroTIM スロットを備えたドライ ポンプ用の Novellus C3 プラットフォームへのツール インターフェイスを提供します。Novellus C3 Micro TIM モジュールを使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールからさまざまな Edwards ポンプを制御および監視できます。Novellus C3 Micro TIM は、次の Edwards ポンプと互換性があります。
- EPX シリーズ
- iGX シリーズ
- GX シリーズ
- iXH シリーズ
- iXL シリーズ
- システム コントローラを備えたマルチ ポンプ システムでも使用できます。
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