Module de contrôle Edwards Novellus C3 Micro TIM pour Edwards EPX, iGX, GX, iXH, iXL, pompes sèches, D37360360
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D37360360
Le module Novellus C3 Micro TIM fournit une interface d'outil aux plates-formes Novellus C3 pour les pompes sèches avec un emplacement MicroTIM. Un module Novellus C3 Micro TIM peut être utilisé pour assurer le contrôle et la surveillance d'une variété de pompes Edwards par votre outil de traitement, à l'aide de l'interface numérique parallèle. Le module Novellus C3 Micro TIM est compatible avec les pompes Edwards suivantes.
- Série EPX
- Série iGX
- Série GX
- Série iXH
- Série iXL
- A utiliser également sur des systèmes à pompes multiples avec un contrôleur de système.
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