エドワーズ モデル 250 水冷式排気トラップ。PN: A53114000
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Edwards 部品番号: A53114000。
Edwards モデル 250 水冷式排気トラップは、ポンプからの排気ガスを冷却し、トラップ内に粒子を集めます。これにより、排気システム内に粒子が集まるのを防ぎます。排気トラップは、ジクロロシランまたはヘキサクロロジシランとアンモニアを使用する LPCVD 窒化物プロセスで使用されるポンプに接続するように設計されています。
排気トラップは、他のプロセスで使用されるポンプへの接続には適していません。 Edwards モデル 250 トラップは、BOC Edwards CDP および QDP ドライ ポンプ、および Drystar MKI、MKII、QMKII ドライ ポンプ システムに適合するように設計されています。排気システムが詰まった場合にポンプを停止するための圧力スイッチをシステムに組み込む必要があります。
排気トラップには、ベースフレームに取り付けられたメインの外側本体があります。トラップ本体の高さは、さまざまなポンプにトラップを適合させるためにベースフレーム内で調整できます。ベースフレームには、移動を容易にするためのキャスターと、操作位置にしっかりと配置できるように水平調整脚が付いています。モデル 250 水冷式排気トラップの Edwards 部品番号は A53114000 です。
Edwards モデル 250 水冷式排気トラップの仕様:
排気トラップは、他のプロセスで使用されるポンプへの接続には適していません。 Edwards モデル 250 トラップは、BOC Edwards CDP および QDP ドライ ポンプ、および Drystar MKI、MKII、QMKII ドライ ポンプ システムに適合するように設計されています。排気システムが詰まった場合にポンプを停止するための圧力スイッチをシステムに組み込む必要があります。
排気トラップには、ベースフレームに取り付けられたメインの外側本体があります。トラップ本体の高さは、さまざまなポンプにトラップを適合させるためにベースフレーム内で調整できます。ベースフレームには、移動を容易にするためのキャスターと、操作位置にしっかりと配置できるように水平調整脚が付いています。モデル 250 水冷式排気トラップの Edwards 部品番号は A53114000 です。
Edwards モデル 250 水冷式排気トラップの仕様:
- Edwards ドライ ポンプに適合: CDP および QDP ドライ ポンプ、および Drystar MKI、MKII、QMKII ドライ ポンプ システム
- 材質: トラップ本体は AIS 304L ステンレス鋼、水冷コイルは銅
- ライナー交換部品番号は A53115020
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