Edwards 250 型水冷排气疏水阀。零件号:A53114000
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Edwards 零件编号:A53114000。
Edwards 250 型水冷式排气捕集器可冷却泵排出的废气,并使颗粒物聚集在捕集器中。这可防止颗粒物聚集在排气系统中。排气捕集器设计用于连接到使用二氯硅烷或六氯乙硅烷和氨的 LPCVD 氮化物工艺中使用的泵。
排气捕集器不适合连接到用于其他工艺的泵。 Edwards 250 型疏水阀专为适合 BOC Edwards CDP 和 QDP 干泵以及 Drystar MKI、 MKII 和 QMKII 干泵系统而设计。该系统必须配备压力开关,以便在排气系统堵塞时关闭泵。
排气疏水阀有一个安装在底座上的主外壳。疏水阀主体高度可在底座中调节,以适应不同的泵。底座配有脚轮,便于移动,并配有调平脚,以便将其牢固地固定在工作位置。250 型水冷排气疏水阀的 Edwards 零件编号为 A53114000。
Edwards 250 型水冷排气疏水阀规格:
排气捕集器不适合连接到用于其他工艺的泵。 Edwards 250 型疏水阀专为适合 BOC Edwards CDP 和 QDP 干泵以及 Drystar MKI、 MKII 和 QMKII 干泵系统而设计。该系统必须配备压力开关,以便在排气系统堵塞时关闭泵。
排气疏水阀有一个安装在底座上的主外壳。疏水阀主体高度可在底座中调节,以适应不同的泵。底座配有脚轮,便于移动,并配有调平脚,以便将其牢固地固定在工作位置。250 型水冷排气疏水阀的 Edwards 零件编号为 A53114000。
Edwards 250 型水冷排气疏水阀规格:
- 适用于 Edwards 干泵:CDP 和 QDP 干泵以及 Drystar MKI、MKII 和 QMKII 干泵系统
- 材质:疏水阀主体为 AIS 304L 不锈钢,水冷盘管为铜
- 衬套更换部件编号为 A53115020
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