Edwards Model 250 수냉식 배기 트랩. PN: A53114000
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Edwards 부품 번호: A53114000.
Edwards 모델 250 수냉식 배기 트랩은 펌프에서 나오는 배기 가스를 냉각시키고
트랩에 입자가 모이게 합니다. 이렇게 하면
배기 시스템에 입자가 모이는 것을 방지할 수 있습니다. 배기 트랩은 디클로로실란 또는 헥사클로로디실란과 암모니아를 사용하는
LPCVD 질화 공정에 사용되는 펌프에 연결되도록 설계되었습니다.
배기 트랩은 다른 공정에 사용되는 펌프에 연결하기에 적합하지 않습니다. Edwards 모델 250 트랩은 BOC Edwards CDP 및 QDP 건식 펌프와 Drystar MKI, MKII 및 QMKII 건식 펌핑 시스템에 맞게 설계되었습니다. 이 시스템은 배기 시스템이 막히면 펌프를 끄기 위해 압력 스위치를 통합해야 합니다.
배기 트랩에는 베이스 프레임에 장착된 주요 외부 본체가 있습니다. 트랩 본체 높이는 베이스 프레임에서 조절하여 트랩을 다른 펌프에 맞출 수 있습니다. 베이스 프레임에는 이동을 쉽게 하기 위한 캐스터와 레벨링 풋이 있어 작동 위치에 안전하게 위치할 수 있습니다. 모델 250 수냉식 배기 트랩의 Edwards 부품 번호는 A53114000입니다.
Edwards Model 250 수냉식 배기 트랩 사양:
배기 트랩은 다른 공정에 사용되는 펌프에 연결하기에 적합하지 않습니다. Edwards 모델 250 트랩은 BOC Edwards CDP 및 QDP 건식 펌프와 Drystar MKI, MKII 및 QMKII 건식 펌핑 시스템에 맞게 설계되었습니다. 이 시스템은 배기 시스템이 막히면 펌프를 끄기 위해 압력 스위치를 통합해야 합니다.
배기 트랩에는 베이스 프레임에 장착된 주요 외부 본체가 있습니다. 트랩 본체 높이는 베이스 프레임에서 조절하여 트랩을 다른 펌프에 맞출 수 있습니다. 베이스 프레임에는 이동을 쉽게 하기 위한 캐스터와 레벨링 풋이 있어 작동 위치에 안전하게 위치할 수 있습니다. 모델 250 수냉식 배기 트랩의 Edwards 부품 번호는 A53114000입니다.
Edwards Model 250 수냉식 배기 트랩 사양:
- Edwards 건식 펌프에 적합: CDP 및 QDP 건식 펌프와 Drystar MKI, MKII 및 QMKII 건식 펌핑 시스템
- 소재: 트랩 본체는 AIS 304L 스테인리스 스틸이고 수냉 코일은 구리입니다.
- 라이너 교체 부품 번호는 A53115020입니다.
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