Edwards 250 型水冷式排氣疏水閥。編號：A53114000
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Edwards 250 型水冷式排氣疏水閥。
愛德華茲零件號：A53114000。
愛德華茲零件號：A53114000。
Edwards 250 型水冷式排氣疏水閥可冷卻幫浦中的廢氣，並導致
顆粒物收集在捕集器中。這可以防止顆粒物聚集在
排氣系統。排氣陷阱設計用於連接到用於
LPCVD氮化製程使用二氯矽烷或六氯二矽烷和氨。
排氣捕集器不適合連接到其他製程所使用的泵浦。 Edwards 250 型疏水閥設計用於安裝 BOC Edwards CDP 和 QDP 乾泵以及 Drystar MKI， MKII 和 QMKII 乾泵系統。此系統必須包含一個壓力開關 如果排氣系統堵塞，請關閉幫浦。
排氣捕集器具有安裝在底架上的主外部主體。疏水閥主體高度可以在底架上調節，以適應不同的幫浦。底架配有腳輪，方便移動，並配有調平腳，以便 它可以安全地位於其操作位置。 250 型水冷式排氣捕集器的 Edwards 零件號碼為 A53114000。
Edwards 250 型水冷式排氣疏水閥規格：
排氣捕集器不適合連接到其他製程所使用的泵浦。 Edwards 250 型疏水閥設計用於安裝 BOC Edwards CDP 和 QDP 乾泵以及 Drystar MKI， MKII 和 QMKII 乾泵系統。此系統必須包含一個壓力開關 如果排氣系統堵塞，請關閉幫浦。
排氣捕集器具有安裝在底架上的主外部主體。疏水閥主體高度可以在底架上調節，以適應不同的幫浦。底架配有腳輪，方便移動，並配有調平腳，以便 它可以安全地位於其操作位置。 250 型水冷式排氣捕集器的 Edwards 零件號碼為 A53114000。
Edwards 250 型水冷式排氣疏水閥規格：
- 適用於 Edwards 乾泵：CDP 和 QDP 乾泵以及 Drystar MKI、MKII 和 QMKII 乾泵系統
- 材質：疏水閥本體為AIS 304L不鏽鋼，水冷盤管為銅
- 襯裡更換零件編號為 A53115020
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