Siphon d'échappement refroidi par eau Edwards modèle 250. Réf. : A53114000
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Numéro de pièce Edwards : A53114000.
Le purgeur d'échappement refroidi par eau Edwards modèle 250 refroidit les gaz d'échappement de la pompe et provoque
l'accumulation de particules dans le purgeur. Cela empêche l'accumulation de particules dans
le système d'échappement. Le purgeur d'échappement est conçu pour se connecter à une pompe utilisée dans un
processus de nitrure LPCVD utilisant du dichlorosilane ou de l'hexachlorodisilane et de l'ammoniac.
Le purgeur d'échappement ne convient pas pour être connecté à une pompe utilisée dans d'autres processus. Le purgeur Edwards modèle 250 est conçu pour s'adapter aux pompes sèches BOC Edwards CDP et QDP et aux systèmes de pompage sec Drystar MKI, MKII et QMKII. Le système doit intégrer un pressostat pour arrêter la pompe si le système d'échappement est bloqué.
Le purgeur d'échappement possède un corps extérieur principal qui est monté sur un châssis. La hauteur du corps du purgeur peut être réglée dans le châssis pour adapter le purgeur à différentes pompes. Le châssis est équipé de roulettes pour faciliter les déplacements et de pieds de mise à niveau pour qu'il puisse être placé en toute sécurité dans sa position de fonctionnement. Le purgeur d'échappement refroidi par eau modèle 250 porte le numéro de pièce Edwards A53114000.
Spécifications du purgeur d'échappement refroidi par eau Edwards modèle 250 :
Le purgeur d'échappement ne convient pas pour être connecté à une pompe utilisée dans d'autres processus. Le purgeur Edwards modèle 250 est conçu pour s'adapter aux pompes sèches BOC Edwards CDP et QDP et aux systèmes de pompage sec Drystar MKI, MKII et QMKII. Le système doit intégrer un pressostat pour arrêter la pompe si le système d'échappement est bloqué.
Le purgeur d'échappement possède un corps extérieur principal qui est monté sur un châssis. La hauteur du corps du purgeur peut être réglée dans le châssis pour adapter le purgeur à différentes pompes. Le châssis est équipé de roulettes pour faciliter les déplacements et de pieds de mise à niveau pour qu'il puisse être placé en toute sécurité dans sa position de fonctionnement. Le purgeur d'échappement refroidi par eau modèle 250 porte le numéro de pièce Edwards A53114000.
Spécifications du purgeur d'échappement refroidi par eau Edwards modèle 250 :
- Convient aux pompes sèches Edwards : pompes sèches CDP et QDP et systèmes de pompage sec Drystar MKI, MKII et QMKII
- Matériau : le corps du purgeur est en acier inoxydable AIS 304L et les serpentins de refroidissement par eau sont en cuivre
- Le numéro de pièce de rechange du revêtement est A53115020
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