Edwards iXM 1200 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. PN A56146958
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Edwards 零件编号 A56146958
Edwards iXM 1200 是专为绿色制造而打造的全新干式泵系列。高效的罗茨泵机构使用极低的能源，已开发出可大幅降低输入功率至 1.3 kW，比上一代干式泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。
气体阻隔技术和热设计改进使耐腐蚀性比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXM
将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性和更长的泵寿命，并为 CVD 工艺降低功耗。
Edwards iXM 1200 系列泵结构紧凑、重量轻，噪音和振动极低，使 iXM 成为 Edwards 系列中最通用的干泵。iXM 将 改变您对干式真空泵技术的期望，带来真正的好处和更长的正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXM 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率。 如需完整的使用说明书，请参阅侧面的下载。
特点和优点：
Edwards iXM 1200 系列泵结构紧凑、重量轻，噪音和振动极低，使 iXM 成为 Edwards 系列中最通用的干泵。iXM 将 改变您对干式真空泵技术的期望，带来真正的好处和更长的正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXM 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率。 如需完整的使用说明书，请参阅侧面的下载。
特点和优点：
- 主要用于清洁至轻度腐蚀性化学应用（请参阅下面的应用范围）
- 峰值抽速 1030 m3/h-1 (606 CFM)
- 极限压力 5.0 X 10-3 Torr
- 无需预防性维护
- 3/8 英寸快速连接水填充物
- 水和电源连接配对半部
- SS 水冷系统
- Varimode 气体模块
应用：- 负载锁
- 传输
- 气象学
- 光刻
- 物理气相沉积 PVD 工艺
- 物理气相沉积 PVD 预清洁
- 快速热退火 RTA
- 剥离/灰化
- 蚀刻
- 注入源
- 高密度等离子体化学气相沉积 HDP CVD
- 快速热处理 RTP
- 亚大气压化学气相沉积SACVD
- 钨化学气相沉积 WCVD
- 改进的化学气相沉积 MCVD
- 等离子体增强化学气相沉积 PECVD
- 低压化学气相沉积 LPCVD
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