에드워즈 iXL120N 건식 진공 펌프, 200-460VAC, 질소 퍼지 연결, 3/8 QC 퀵 디스커넥트 물 피팅.
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Edwards 부품 번호: A54114010.
XL120은 웨이퍼 핸들링 및 기타 클린 듀티 애플리케이션을 위한 소형, 저에너지, 110 m3h-1 건식 펌프입니다. 매우 낮은 에너지 소비로 로드 록 챔버의 빠른 펌핑 다운을 제공합니다. iXL120은 로드 록 및 클린 애플리케이션에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 낮은 진동과 낮은 소음 수준으로 툴이나 팹의 와플 바닥 내부에 장착하기에 이상적이며 귀중한 팹 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드는 유휴 기간 동안 유틸리티 사용을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경 보호에 도움이 됩니다!.
동급 최고의 챔버 펌프 다운 타임으로 총 평균 사이클 시간(TACT)이 단축됩니다. 전력 소비량이 0.55kW에 불과하여 고객 소유 비용을 최소화하는 데 도움이 됩니다. Green Mode는 유휴 기간 동안 전력 소비량을 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 팹 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 진동이 적은 작동을 보장합니다. 고유한 이중 유입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 질소 퍼지 옵션이 없으므로 질소 공급이 필요 없으므로 설치 및 운영 비용이 절감됩니다.
동급 최고의 챔버 펌프 다운 타임으로 총 평균 사이클 시간(TACT)이 단축됩니다. 전력 소비량이 0.55kW에 불과하여 고객 소유 비용을 최소화하는 데 도움이 됩니다. Green Mode는 유휴 기간 동안 전력 소비량을 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 팹 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 진동이 적은 작동을 보장합니다. 고유한 이중 유입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 질소 퍼지 옵션이 없으므로 질소 공급이 필요 없으므로 설치 및 운영 비용이 절감됩니다.
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Edwards iXL120N 기능 및 이점:
- 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 진동이 적은 작동을 보장합니다.
- 고유한 이중 유입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다.
- Green Mode는 유휴 기간 동안 전력 소비량을 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 기간
- 클래스 최고의 챔버 펌프 다운 타임은 총 평균 사이클 시간(TACT)을 줄입니다.
- 최대 35°C의 물 공급은 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다.
- 단 0.55kW1의 전력 소비는 고객 소유 비용을 최소화하는 데 도움이 됩니다.
- 단일 변형은 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 커버합니다.
- 매우 작고 가벼워 귀중한 팹 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다.
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