Edwards iXL120N ドライ真空ポンプ、200-460VAC、窒素パージ接続、3/8 QC クイック ディスコネクト水フィッティング。
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
割引率 25%
Edwards 部品番号: A54114010。
XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン デューティ アプリケーション向けの、コンパクトで低エネルギーの 110 m3h-1 ドライ ポンプです。非常に低いエネルギー消費で、ロード ロック チャンバーの高速ポンプ ダウンを実現します。iXL120 は、ロード ロックおよびクリーン アプリケーションで使用できる最小かつ最軽量のポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上またはファブのワッフル フロア内に取り付けるのに最適で、貴重なファブ フロア スペースを節約できます。グリーン モードでは、アイドル期間中のユーティリティの使用が削減されるため、ユーティリティ コストが削減され、環境保護に役立ちます。
クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます。 消費電力はわずか 0.55kW で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードでは、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35oC の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます。 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースを節約できます。 オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 独自のデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置オプションが実現されます。 窒素パージなしのオプションにより、窒素供給が不要になり、設置と運用のコストが削減されます。
クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます。 消費電力はわずか 0.55kW で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードでは、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35oC の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます。 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースを節約できます。 オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 独自のデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置オプションが実現されます。 窒素パージなしのオプションにより、窒素供給が不要になり、設置と運用のコストが削減されます。
-
Edwards iXL120N の機能と利点:
- オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。
- 独自のデュアル インレット配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置オプションが実現されます。
- グリーン モードでは、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。期間
- クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます
- 最大 35°C の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます
- わずか 0.55 kW1 の消費電力により、お客様の所有コストが最小限に抑えられます
- 1 つのバリアントで、200～460 V、50/60 Hz の供給電圧範囲をカバーします
- 非常に小型で軽量であるため、貴重な工場スペースを節約できます
返信について通知するためサインインしてください
