Edwards iXH 610 HARSH 干式真空泵 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. PN AC110A121100
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Edwards 零件编号 AC110A121100。
Edwards iXH 610 是专为绿色制造和严苛化学工艺处理而打造的全新干式泵系列。高效的罗茨泵机构使用极低的能源，已开发出可将输入功率大幅降低至 1.3 kW，比上一代干式泵低 60%，从而减少对环境的影响并降低拥有成本。气体阻隔技术和热设计改进使其耐腐蚀性比 iH 系列产品高出四倍。先进的粉末处理功能意味着 iXH
将为多层蚀刻工艺提供最大的可靠性和更长的泵寿命，并为 CVD 工艺（尤其是 HARSH 化学品）降低功耗。
Edwards iXH 610 系列泵结构紧凑、重量轻，噪音和振动极低，使 iXH 成为 Edwards 系列中最通用的化学干泵。iXH 将 改变您对干式真空泵技术的期望， 提供真正的好处并增加正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXH 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率。 如需完整的使用说明书，请参阅下载。
Edwards iXH 610 系列泵结构紧凑、重量轻，噪音和振动极低，使 iXH 成为 Edwards 系列中最通用的化学干泵。iXH 将 改变您对干式真空泵技术的期望， 提供真正的好处并增加正常运行时间，同时将环境影响降至最低。iXH 泵设计用于大多数半导体工艺，同时显著降低输入功率。 如需完整的使用说明书，请参阅下载。
特点和优点：
- 主要用于苛刻的化学应用
- 峰值抽速 665 m3/h-1 (391 CFM)
- 极限压力 3.7 X 10-3 Torr
- 无需预防性维护
- 3/8 英寸快速连接水填充物
- 水和电源连接配对半部
- SS 水冷系统
- 多模式 44 slm 气体模块
应用：
- 负载锁
- 传输
- 气象学
- 光刻
- 物理气相沉积 PVD 工艺
- 物理气相沉积 PVD 预清洁
- 快速热退火 RTA
- 剥离/灰化
- 蚀刻
- 注入源
- 高密度等离子体化学气相沉积 HDP CVD
- 快速热处理 RTP
- 亚大气压化学气相沉积SACVD
- 钨化学气相沉积 WCVD
- 改进的化学气相沉积 MCVD
- 等离子增强化学气相沉积 PECVD
- 低压化学气相沉积 LPCVD
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