Edwards iXH 100 HARSH 乾式真空幫浦 200-230 VAC 50/60 Hz 3 相零件號碼 AC010A121000
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
保存 25%
<中心>
Edwards iXH 100 HARSH 乾式真空幫浦 200-230 VAC 50/60 Hz 3 ph。
Edwards 零件號 AC010A121000。
Edwards iXH 100 是專為綠色環保而打造的全新乾泵系列
惡劣化學製程的製造和加工。使用非常低的能量，高效率的根機制具有
被開發來顯著降低輸入功率
1.3kW，比上一代乾式低60%
泵，減少對環境的影響並降低成本
所有權。
氣體阻隔技術與熱設計改進
耐腐蝕性能是 iH 系列的四倍
產品。 iXH 具有先進的粉末處理功能
將提供最大的可靠性並延長泵浦的使用壽命
多層蝕刻製程並降低功耗
適用於 CVD 工藝，尤其是使用 HARSH 化學品的工藝。
Edwards iXH 100 系列幫浦結構緊湊、重量輕，結合了 噪音和振動極低，使 iXH 成為 Edwards 系列中最通用的化學乾泵。 iXH將 改變您對乾式真空幫浦技術的期望， 以最小的成本提供真正的好處並增加正常運行時間 環境影響。 iXH 幫浦設計用於大多數半導體 過程，同時顯著降低輸入功率。此型號沒有用於提高性能的增壓鼓風機幫浦。 有關完整的說明手冊，請參閱下載。
特質與優點：
Edwards 零件號 AC010A121000。
Edwards iXH 100 系列幫浦結構緊湊、重量輕，結合了 噪音和振動極低，使 iXH 成為 Edwards 系列中最通用的化學乾泵。 iXH將 改變您對乾式真空幫浦技術的期望， 以最小的成本提供真正的好處並增加正常運行時間 環境影響。 iXH 幫浦設計用於大多數半導體 過程，同時顯著降低輸入功率。此型號沒有用於提高性能的增壓鼓風機幫浦。 有關完整的說明手冊，請參閱下載。
- 主要用於嚴苛的化學應用
- 峰值抽速 100 m3/h-1 (59 CFM)
- 極限壓力 1.5 X 10-2 Torr
- 無需預防性維護
- 僅包含主幫浦
- 3/8 吋快速連接注水裝置
- 水和水電源連接接合半部
- SS水冷系統
- 多模式 44 slm 氣體模組
應用：
- 載入鎖定
- 轉移
- 氣象學
- 光刻
- 物理氣相沉積 PVD 製程
- 物理氣相沉積 PVD 預清洗
- 快速熱退火 RTA
- 剝離/灰化
- 蝕刻
- 植入來源
- 高密度等離子體化學氣相沉積 HDP CVD
- 快速熱處理 RTP
- 低於大氣壓力化學氣相沉積 SACVD
- 鎢化學氣相沉積 WCVD
- 改良化學氣相沉積 MCVD
- 等離子體增強化學氣相沉積 PECVD
- 低壓化學氣相沉積 LPCVD
请登录，以便我们通知您回复
