Edwards iXH 100 HARSH 건식 진공 펌프 200-230 VAC 50/60 hz 3상 PN AC010A121000
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Edwards 부품 번호 AC010A121000.
Edwards iXH 100은 친환경 제조 및 혹독한 화학 공정 처리를 위해 제작된 새로운 건식 펌프 제품군입니다. 매우 낮은 에너지를 사용하는 효율적인 루트 메커니즘이 개발되어 입력 전력을 획기적으로 줄였습니다.
1.3 kW, 이전 세대 건식 펌프보다 60% 낮아 환경 영향을 줄이고 소유 비용을 낮춥니다.
가스 차단 기술과 열 설계 개선으로 iH 시리즈 제품보다 4배 더 높은 내식성이 가능합니다. 고급 파우더 처리 기능은 iXH가
다층 에칭 공정에 대한 최대의 신뢰성과 연장된 펌프 수명을 제공하고, 특히 가혹한 화학 물질을 사용하는 CVD 공정에 대한 전력 소비를 줄인다는 것을 의미합니다.
Edwards iXH 100 시리즈 펌프는 소형이고 가벼운 디자인으로, 매우 낮은 소음과 진동과 결합되어 iXH를 Edwards 제품군에서 가장 다재다능한 화학 건식 펌프로 만듭니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대를 변화시키고, 최소한의 환경 영향으로 실질적인 이점과 증가된 가동 시간을 제공합니다. iXH 펌프는 대부분의 반도체 공정에서 사용하도록 설계되었으며 입력 전력을 크게 줄입니다. 이 모델에는 추가 성능을 위한 부스터 블로워 펌프가 없습니다. 전체 사용 설명서는 다운로드를 참조하세요.
기능 및 이점:
Edwards iXH 100 시리즈 펌프는 소형이고 가벼운 디자인으로, 매우 낮은 소음과 진동과 결합되어 iXH를 Edwards 제품군에서 가장 다재다능한 화학 건식 펌프로 만듭니다. iXH는 건식 진공 펌프 기술에 대한 기대를 변화시키고, 최소한의 환경 영향으로 실질적인 이점과 증가된 가동 시간을 제공합니다. iXH 펌프는 대부분의 반도체 공정에서 사용하도록 설계되었으며 입력 전력을 크게 줄입니다. 이 모델에는 추가 성능을 위한 부스터 블로워 펌프가 없습니다. 전체 사용 설명서는 다운로드를 참조하세요.
- 주로 가혹한 화학 응용 분야용
- 최대 펌핑 속도 100 m3/h-1(59 CFM)
- 최대 압력 1.5 X 10-2 Torr
- 예방적 유지 관리 불필요
- 기본 펌프만 포함
- 3/8인치 퀵 커넥트 물 충전
- 물 및 전원 연결 결합 반쪽
- SS 수냉 시스템
- 멀티 모드 44 slm 가스 모듈
응용 프로그램:
- 로드 록
- 전송
- 기상학
- 리소그래피
- 물리적 기상 증착 PVD 공정
- 물리적 기상 증착 PVD 사전 세척
- 빠른 열처리 RTA
- 스트립/애싱
- 에칭
- 임플란트 소스
- 고밀도 플라즈마 화학 기상 증착 HDP CVD
- 빠른 열처리 RTP
- 아대기압 화학 기상 증착 SACVD
- 텅스텐 화학 기상 증착 WCVD
- 개질 화학 기상 증착 MCVD
- 플라즈마 강화 화학 기상 증착 PECVD
- 저압 화학 기상 증착 LPCVD
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