Edwards iXH 100 HARSH ドライ真空ポンプ 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. PN AC010A121000
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Edwards 部品番号 AC010A121000.
Edwards iXH 100 は、環境に配慮した製造と過酷な化学プロセスの処理向けに設計された新しいドライポンプ シリーズです。非常に低いエネルギーを使用する効率的なルーツ メカニズムが開発され、入力電力が 1.3 kW に大幅に削減されました。これは、前世代のドライポンプよりも 60% 低いため、環境への影響が軽減され、所有コストも削減されます。
ガス バリア技術と熱設計の改善により、iH シリーズ製品よりも 4 倍の耐腐食性が実現されています。高度な粉体処理機能により、iXH は、多層エッチング プロセスで最大限の信頼性とポンプ寿命の延長を実現し、特に過酷な化学物質を使用する CVD プロセスで消費電力を削減します。
Edwards iXH 100 シリーズ ポンプは、コンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を併せ持つため、Edwards 製品群の中で最も汎用性の高いケミカル ドライ ポンプです。iXH は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を一変させ、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の増加を実現します。iXH ポンプは、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されており、入力電力を大幅に削減します。このモデルには、パフォーマンスを向上させるためのブースター ブロワー ポンプはありません。 完全な取扱説明書については、ダウンロードを参照してください。
機能と利点:
Edwards iXH 100 シリーズ ポンプは、コンパクトで軽量な設計で、非常に低い騒音と振動を併せ持つため、Edwards 製品群の中で最も汎用性の高いケミカル ドライ ポンプです。iXH は、ドライ真空ポンプ技術に対するお客様の期待を一変させ、環境への影響を最小限に抑えながら、真のメリットと稼働時間の増加を実現します。iXH ポンプは、ほとんどの半導体プロセスで使用できるように設計されており、入力電力を大幅に削減します。このモデルには、パフォーマンスを向上させるためのブースター ブロワー ポンプはありません。 完全な取扱説明書については、ダウンロードを参照してください。
- 主に過酷な化学薬品用途向け
- ピークポンピング速度 100 m3/h-1 (59 CFM)
- 最大圧力 1.5 X 10-2 Torr
- 予防保守は不要
- プライマリポンプのみを含む
- 3/8 インチのクイックコネクト水充填
- 水と電源接続嵌合ハーフ
- SS 水冷システム
- マルチモード 44 slm ガスモジュール
用途:
- ロードロック
- 転送
- 気象学
- リソグラフィー
- 物理蒸着 PVD プロセス
- 物理蒸着 PVD プレクリーン
- 急速熱アニール RTA
- ストリップ/アッシング
- エッチング
- インプラントソース
- 高密度プラズマ化学蒸着 HDP CVD
- 急速熱処理 RTP
- 大気圧下化学蒸着SACVD
- タングステン化学蒸着 WCVD
- 改良化学蒸着 MCVD
- プラズマ強化化学蒸着 PECVD
- 低圧化学蒸着 LPCVD
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