Edwards iTIM E73 和 Al 和 T1 以及 iH 乾泵的閘閥控制。編號:D37420000

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<中心> 愛德華茲 iTIM E73 和阿爾& T1& iH 幫浦的閘閥控制。
PN:D37420000。
iTIM 可用於透過您的製程工具提供 IH 幫浦的控制和監控, 使用並行數位介面。 iTIM 具有許多進階功能。

• 每個 iTIM 上最多可連接 3 種不同類型的工具介面。 • 方便安裝在幫浦後部,快速兩點固定。 • 可設定連接,可輕鬆自訂 AUC 功能。 • 閘閥控製作為標準包含在該模組中。 • iTIM 具有設定點存儲,允許保存與特定製程或配方相關的幫浦設定點。這些設定點在加電時會自動加載到幫浦中,包括更換幫浦時的新幫浦。

如果這些模組已經存在,它們可用於提供控制和監視 由您的製程工具或其他控制設備控制幫浦。例如,泵浦可以是 從iH升級到iHs,無需更改介面模組。 然而,iTIM 提供了比 iM 模組更高的效能,例如完整的 AUC 功能僅可透過 iTIM 使用。建議在所有新產品上使用 iTIM 裝置。如需進一步說明,請致電 505-872-0037。

Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf (Edwards_iTIM_Instruction_Manual.pdf, 1,226 Kb) [下載]

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