Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 氣體模組質量流量計 3810 - 60 L/MIN 替換件
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Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 乾式半導體真空幫浦具有 II 系列氣體模組，可為真空幫浦提供氮氣流量。需要這些氮氣流來淨化泵浦的各個部分並為乾軸密封件提供冷卻。隨著這些幫浦的老化，氣體模組內的質量流量控制器可能會故障。我們的替換質量流量控制器 3810 設計為新的校準替換零件的掉落。它們使氣體模組再生，以便為真空泵提供正確的流量。
Ideal Vacuum 為所有 Edwards iQDP-40 和 iQDP-80 乾式半導體幫浦提供重建服務，並提供所有鼓風機組合。請聯絡我們以取得 iQDP 幫浦或 iQDP 氣體模組重建服務 - 505-872-0037。
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