Edwards iGX100L 干式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。PN A54610958
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Edwards 零件编号 A54610958
Edwards iGX 干式真空泵系列为大修之间的零维护树立了新标准。提高效率可降低拥有成本，并在整个压力范围内提供连续抽气任务。iGX 干式泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的连续可用性。iGX 泵具有多种峰值速度和变体，可满足从清洁到中型工艺的应用。模块化设计允许用户配置 iGX 干式泵以满足各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上、近距离或远程。如需更多规格和选项，请向下滚动至可用下载并下载 datasheet.pdf。这些 Edwards iGX100L 干式半导体真空泵是新产品，其 Edwards 零件编号为 A546-10-958 (A54610958)。
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