Edwards iGX100L 건식 진공 펌프, 62 CFM 200-230V 50/60Hz, 3.75 mtorr. PN A54610958

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Edwards iGX100L 건식 진공 펌프, 62 CFM 200-230V 50/60Hz, 3.75 mtorr. 최고 압력
Edwards 부품 번호 A54610958

Edwards iGX 건식 진공 펌프 시리즈는 주요 정비 사이에 유지 관리가 전혀 필요 없다는 새로운 기준을 제시합니다. 효율성이 향상되어 소유 비용이 낮아지고 압력 범위 전체에서 지속적인 펌핑이 가능합니다. iGX 건식 펌프에는 웹 페이지를 통해 주요 데이터를 볼 수 있는 이더넷 연결 기능과 지속적인 펌프 가용성을 보장하는 포괄적인 네트워킹 옵션이 포함되어 있습니다. iGX 펌프는 다양한 피크 속도와 변형으로 제공되어 청정에서 중간 부하 공정에 이르기까지 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 개별 팹 요구 사항에 맞게 iGX 건식 펌프를 구성할 수 있습니다. 초소형 풋프린트로 도구 내, 근접 또는 원격 설치 옵션을 사용할 수 있습니다. 자세한 사양 및 옵션은 AVAILABLE DOWNLOADS로 스크롤하여 datasheet.pdf를 다운로드하세요. 이 Edwards iGX100L 건식 반도체 진공 펌프는 새 제품이며 Edwards 부품 번호 A546-10-958(A54610958)입니다.


Edwards-iGX-Drypumps-Datasheet.pdf (Edwards-iGX-Drypumps-Datasheet.pdf, 1,161 Kb) [다운로드]

iGX_Dry_Pumping_Systems_Instruction_Manual.pdf (iGX_Dry_Pumping_Systems_Instruction_Manual.pdf, 1,467 Kb) [다운로드]

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