Edwards iGX100L 乾式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。零件號碼 A54610958
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Edwards iGX100L 乾式真空泵，62 CFM 200-230V 50/60Hz，3.75 mtorr。極限壓力
Edwards 零件號 A54610958
Edwards 零件號 A54610958
Edwards iGX 乾式真空幫浦系列為大修之間的零維護樹立了新標準。效率的提高降低了擁有成本，並在整個壓力範圍內提供連續的泵送任務。 iGX 幹泵包括乙太網路連接，可透過網頁查看關鍵數據，以及一套全面的網路選項，以確保泵浦的持續可用性。 iGX 幫浦具有多種峰值速度和型號，可滿足從清潔到中型流程的應用需求。模組化設計允許使用者配置 iGX 乾泵以滿足個別晶圓廠的要求。超緊湊的佔地面積允許安裝選項，包括工具上安裝、近距離安裝或遠端安裝。如需了解更多規格和選項，請向下捲動至「可用下載」並下載 datasheet.pdf。這些 Edwards iGX100L 乾式半導體真空幫浦是新款，Edwards 零件號碼為 A546-10-958 (A54610958)。
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