Edwards EPX 180LE 高真空プライマリドライ真空ポンプ 208 VAC 3PH。3/8 インチ水コネクタ ISO 63 インレット - 部品番号 A41943712 - MCM TIM 付き
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コンパクトな EPX180LE とツール インターフェース モジュール (TIM) を備えた高真空ドライポンプは、所有コストを削減しながらパフォーマンスを向上させます。特許で保護された独自のメカニズムを使用した EPX180LE は、大気圧から 7 x 10-5 Torr 未満の到達圧力までポンプできます。これらは本当に素晴らしいポンプです。Edwards EPX ポンプは、大気圧からターボ分子圧力範囲までポンプダウンでき、すべてのインレット圧力で連続的に動作できます。受賞歴のある IPX シリーズをベースにしたモジュール式 EPX180 は、IPX より 20% 軽量、30% 小型、40% 少ない電力で優れた性能を発揮します。EPX LE シリーズのポンプには、エンド ユーザー コントローラー (EUC) が搭載されています。エンド ユーザー コントローラーにより、スタンドアロン使用のためのローカル制御が可能になるほか、工場全体のネットワークに接続してリモート制御や監視を行うこともできます。EPX ポンプ システムは、大気圧と到達真空の間の圧力で動作し、ポンプ室に潤滑液やシール液は入っていません。これにより、排気中のシステムに油や液体が逆流することなく、クリーンなポンプ システムを実現できます。
ポンプのステーターと密閉モーターは、統合された水冷回路によって冷却されます。そのため、EPX ポンプは、ファン冷却が許容されないクリーンルーム環境での用途に適しています。冷却水の供給および戻りパイプラインは、水コネクタ (顧客指定) によってポンプに接続されます。冷却水は、露点に達しないように環境条件 (湿度と温度) に見合ったものでなければなりません。ポンプには EMC 供給フィルタとインバータ ドライブが組み込まれており、ポンプ モーターへの電力供給と制御を行います。フロント カバーの LED は EPX ポンプの状態を示します。モーターの速度は、ポンプ入口の圧力に依存します。入口圧力が大気圧またはそれに近い状態でポンプを起動すると、モーターはインバータ ドライブによって供給できる電流によって制限される速度まで加速します。入口圧力が低下すると、モーターの速度が上昇し、最終的に設定された最大速度に達します。入口圧力が上昇すると、モーターは再び減速します。
EPX LE シリーズのポンプは、エンド ユーザー コントロール (EUC) のローカル ディスプレイとキーパッドを使用して手動で操作するか、ポンプ ディスプレイ ターミナル (PDT) を使用してリモートで操作できます (取り付けられている場合)。また、ネットワーク コネクタを介して EPX ポンプに接続するネットワーク経由で制御および監視することもできます。 EPX LE シリーズのポンプがツール インターフェース モジュール (TIM) を介して制御される場合、EUC はポンプの状態を監視するだけです。 EPX ポンプは Fabworks 32 と互換性があります。 EPX には 4 つの振動アイソレータがあります。 ポンプ保護センサーは、障害状態が発生すると自動的にポンプをシャットダウンします。 EPX シリーズは、ウェーハ処理から中程度の負荷プロセスまで、幅広いアプリケーションをカバーしています。 EPX ‘LE’ シリーズは、ロードロックなどの不活性ガス混合物をポンプするクリーン デューティ アプリケーションで使用するために設計されており、プロセス ツール インターフェースによって制御が行われます。横にある取扱説明書をダウンロードしてください。
ポンプのステーターと密閉モーターは、統合された水冷回路によって冷却されます。そのため、EPX ポンプは、ファン冷却が許容されないクリーンルーム環境での用途に適しています。冷却水の供給および戻りパイプラインは、水コネクタ (顧客指定) によってポンプに接続されます。冷却水は、露点に達しないように環境条件 (湿度と温度) に見合ったものでなければなりません。ポンプには EMC 供給フィルタとインバータ ドライブが組み込まれており、ポンプ モーターへの電力供給と制御を行います。フロント カバーの LED は EPX ポンプの状態を示します。モーターの速度は、ポンプ入口の圧力に依存します。入口圧力が大気圧またはそれに近い状態でポンプを起動すると、モーターはインバータ ドライブによって供給できる電流によって制限される速度まで加速します。入口圧力が低下すると、モーターの速度が上昇し、最終的に設定された最大速度に達します。入口圧力が上昇すると、モーターは再び減速します。
EPX LE シリーズのポンプは、エンド ユーザー コントロール (EUC) のローカル ディスプレイとキーパッドを使用して手動で操作するか、ポンプ ディスプレイ ターミナル (PDT) を使用してリモートで操作できます (取り付けられている場合)。また、ネットワーク コネクタを介して EPX ポンプに接続するネットワーク経由で制御および監視することもできます。 EPX LE シリーズのポンプがツール インターフェース モジュール (TIM) を介して制御される場合、EUC はポンプの状態を監視するだけです。 EPX ポンプは Fabworks 32 と互換性があります。 EPX には 4 つの振動アイソレータがあります。 ポンプ保護センサーは、障害状態が発生すると自動的にポンプをシャットダウンします。 EPX シリーズは、ウェーハ処理から中程度の負荷プロセスまで、幅広いアプリケーションをカバーしています。 EPX ‘LE’ シリーズは、ロードロックなどの不活性ガス混合物をポンプするクリーン デューティ アプリケーションで使用するために設計されており、プロセス ツール インターフェースによって制御が行われます。横にある取扱説明書をダウンロードしてください。
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