Edwards EPX 180LE 高真空主干式真空泵 208 VAC 3PH。3/8 英寸水连接器 ISO 63 入口。零件编号 A41943012 - 不含 TIM
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紧凑型 EPX180LE 无工具接口模块 (TIM) 高真空干泵可提供增强的性能并降低拥有成本。使用独特的专利保护机制，EPX180LE 能够从大气压抽气到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。这些泵确实令人惊叹；Edwards EPX 泵可以从大气压抽气到涡轮分子压力范围，并且可以在所有入口压力下连续运行。基于屡获殊荣的成功 IPX 系列，模块化 EPX180 提供出色的性能，其封装比 IPX 轻 20%、小 30% 且耗电量减少 40%。EPX LE 系列泵具有最终用户控制器 (EUC)。最终用户控制器可实现独立使用的本地控制，以及连接到工厂范围的网络以进行远程控制和监控。EPX 泵系统在大气压和极限真空之间的压力下运行，泵送室内没有润滑或密封液。这可确保泵送系统清洁，不会有油或液体回流到被抽空的系统中。EPX 180LE 是已停产的 EPX 180NE 型号（零件号 A41944012）的良好替代选择。
泵的定子和封闭的电机由集成的水冷回路冷却。因此，EPX 泵适用于无法使用风扇冷却的洁净室环境。冷却水供应和回流管道通过水连接器（客户指定）连接到泵。冷却水必须与环境条件（湿度和温度）相称，以免达到露点。该泵包含一个 EMC 电源滤波器和一个逆变器驱动器，后者为泵电机提供和控制电源。前盖上的 LED 可识别 EPX 泵的状态。电机速度取决于泵入口处的压力。当泵启动时，入口压力等于或接近大气压，电机加速到受逆变器驱动器可提供的电流限制的速度。随着入口处的压力降低，电机速度会增加，直到最终达到其预设的最大速度。如果入口处的压力增加，电机将再次减速。
EPX LE 系列泵可使用最终用户控制 (EUC) 本地显示器和键盘手动操作，或使用泵显示终端 (PDT)（如果安装）远程操作；它还可以通过网络进行控制和监控，网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当通过工具接口模块 (TIM) 控制 EPX LE 系列泵时，EUC 仅监控泵的状态。 EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。 EPX 有四个隔振器。 如果出现故障情况，泵保护传感器会自动关闭泵。 EPX 系列涵盖了从晶圆处理到中型工艺的广泛应用。 EPX ‘LE’ 系列设计用于泵送惰性气体混合物的清洁应用，例如负载锁，控制由工艺工具接口提供。将说明手册下载到侧面。
泵的定子和封闭的电机由集成的水冷回路冷却。因此，EPX 泵适用于无法使用风扇冷却的洁净室环境。冷却水供应和回流管道通过水连接器（客户指定）连接到泵。冷却水必须与环境条件（湿度和温度）相称，以免达到露点。该泵包含一个 EMC 电源滤波器和一个逆变器驱动器，后者为泵电机提供和控制电源。前盖上的 LED 可识别 EPX 泵的状态。电机速度取决于泵入口处的压力。当泵启动时，入口压力等于或接近大气压，电机加速到受逆变器驱动器可提供的电流限制的速度。随着入口处的压力降低，电机速度会增加，直到最终达到其预设的最大速度。如果入口处的压力增加，电机将再次减速。
EPX LE 系列泵可使用最终用户控制 (EUC) 本地显示器和键盘手动操作，或使用泵显示终端 (PDT)（如果安装）远程操作；它还可以通过网络进行控制和监控，网络通过网络连接器连接到 EPX 泵。当通过工具接口模块 (TIM) 控制 EPX LE 系列泵时，EUC 仅监控泵的状态。 EPX 泵与 Fabworks 32 兼容。 EPX 有四个隔振器。 如果出现故障情况，泵保护传感器会自动关闭泵。 EPX 系列涵盖了从晶圆处理到中型工艺的广泛应用。 EPX ‘LE’ 系列设计用于泵送惰性气体混合物的清洁应用，例如负载锁，控制由工艺工具接口提供。将说明手册下载到侧面。
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