Edwards EPX 180LE 고진공 1차 건식 진공 펌프 208VAC 3PH. 3/8인치. 물 커넥터 ISO 63 입구. 부품 번호 A41943012 - TIM 없음
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도구 인터페이스 모듈(TIM)이 없는 소형 EPX180LE 고진공 건식 펌프는 소유 비용을 절감하면서 향상된 성능을 제공합니다. 특허로 보호되는 고유한 메커니즘을 사용하는 EPX180LE는 대기에서 7 x 10-5 Torr 미만의 최대 압력까지 펌핑할 수 있습니다. 이 펌프는 정말 놀라운 펌프입니다. Edwards EPX 펌프는 대기에서 터보 분자 압력 범위까지 펌핑할 수 있으며 모든 입구 압력에서 지속적으로 작동할 수 있습니다. 성공적인 수상 경력의 IPX 제품군을 기반으로 하는 모듈형 EPX180은 IPX보다 20% 더 가볍고, 30% 더 작으며, 40% 더 적은 전력을 필요로 하는 패키지로 뛰어난 성능을 제공합니다. EPX LE 시리즈 펌프에는 최종 사용자 컨트롤러(EUC)가 있습니다. 최종 사용자 컨트롤러는 단독 사용을 위한 로컬 제어와 원격 제어 및 모니터링을 위한 팹 전체 네트워크에 연결할 수 있는 기능을 제공합니다. EPX 펌프 시스템은 대기압과 최대 진공 사이의 압력에서 작동하며, 펌핑 챔버에 윤활 또는 밀봉 유체가 없습니다. 이를 통해 배출되는 시스템으로 오일이나 유체가 역류하지 않고 깨끗한 펌핑 시스템이 보장됩니다. EPX 180LE는 단종된 EPX 180NE 모델(부품 번호 A41944012)을 대체하기에 좋은 옵션입니다.
펌프의 스테이터와 밀폐형 모터는 통합 수냉 회로로 냉각됩니다. 따라서 EPX 펌프는 팬 냉각이 허용되지 않는 클린룸 환경의 애플리케이션에 적합합니다. 냉각수 공급 및 반환 파이프라인은 물 커넥터(고객 지정)를 통해 펌프에 연결됩니다. 냉각수는 이슬점에 도달하지 않도록 환경 조건(습도 및 온도)에 적합해야 합니다. 펌프에는 EMC 공급 필터와 인버터 드라이브가 통합되어 있어 펌프 모터에 전기를 공급하고 제어합니다. 전면 커버의 LED는 EPX 펌프의 상태를 식별합니다. 모터 속도는 펌프 입구의 압력에 따라 달라집니다. 입구 압력이 대기압 또는 대기압에 가까운 상태에서 펌프를 시동하면 모터는 인버터 드라이브에서 공급할 수 있는 전류에 의해 제한되는 속도로 가속됩니다. 입구의 압력이 감소함에 따라 모터 속도가 증가하여 결국 사전 설정된 최대 속도에 도달합니다. 입구의 압력이 증가하면 모터 속도가 다시 느려집니다.
EPX LE 시리즈 펌프는 최종 사용자 제어(EUC) 로컬 디스플레이 및 키패드를 사용하여 수동으로 작동하거나 장착된 경우 펌프 디스플레이 터미널(PDT)을 사용하여 원격으로 작동할 수 있습니다. 또한 네트워크 커넥터를 통해 EPX 펌프에 연결된 네트워크를 통해 제어 및 모니터링할 수도 있습니다. EPX LE 시리즈 펌프가 툴 인터페이스 모듈(TIM)을 통해 제어되는 경우 EUC는 단순히 펌프 상태를 모니터링합니다. EPX 펌프는 Fabworks 32와 호환됩니다. EPX에는 진동 분리기가 4개 있습니다. 펌프 보호 센서는 오류 조건이 발생하면 자동으로 펌프를 끕니다. EPX 시리즈는 웨이퍼 처리에서 중간 부하 공정에 이르기까지 광범위한 응용 분야를 포괄합니다. EPX 'LE' 시리즈는 로드록과 같은 불활성 가스 혼합물을 펌핑하는 클린 듀티 응용 분야에서 사용하도록 설계되었으며, 여기서 제어는 프로세스 툴 인터페이스에서 제공됩니다. 옆에 있는 사용 설명서를 다운로드하세요.
펌프의 스테이터와 밀폐형 모터는 통합 수냉 회로로 냉각됩니다. 따라서 EPX 펌프는 팬 냉각이 허용되지 않는 클린룸 환경의 애플리케이션에 적합합니다. 냉각수 공급 및 반환 파이프라인은 물 커넥터(고객 지정)를 통해 펌프에 연결됩니다. 냉각수는 이슬점에 도달하지 않도록 환경 조건(습도 및 온도)에 적합해야 합니다. 펌프에는 EMC 공급 필터와 인버터 드라이브가 통합되어 있어 펌프 모터에 전기를 공급하고 제어합니다. 전면 커버의 LED는 EPX 펌프의 상태를 식별합니다. 모터 속도는 펌프 입구의 압력에 따라 달라집니다. 입구 압력이 대기압 또는 대기압에 가까운 상태에서 펌프를 시동하면 모터는 인버터 드라이브에서 공급할 수 있는 전류에 의해 제한되는 속도로 가속됩니다. 입구의 압력이 감소함에 따라 모터 속도가 증가하여 결국 사전 설정된 최대 속도에 도달합니다. 입구의 압력이 증가하면 모터 속도가 다시 느려집니다.
EPX LE 시리즈 펌프는 최종 사용자 제어(EUC) 로컬 디스플레이 및 키패드를 사용하여 수동으로 작동하거나 장착된 경우 펌프 디스플레이 터미널(PDT)을 사용하여 원격으로 작동할 수 있습니다. 또한 네트워크 커넥터를 통해 EPX 펌프에 연결된 네트워크를 통해 제어 및 모니터링할 수도 있습니다. EPX LE 시리즈 펌프가 툴 인터페이스 모듈(TIM)을 통해 제어되는 경우 EUC는 단순히 펌프 상태를 모니터링합니다. EPX 펌프는 Fabworks 32와 호환됩니다. EPX에는 진동 분리기가 4개 있습니다. 펌프 보호 센서는 오류 조건이 발생하면 자동으로 펌프를 끕니다. EPX 시리즈는 웨이퍼 처리에서 중간 부하 공정에 이르기까지 광범위한 응용 분야를 포괄합니다. EPX 'LE' 시리즈는 로드록과 같은 불활성 가스 혼합물을 펌핑하는 클린 듀티 응용 분야에서 사용하도록 설계되었으며, 여기서 제어는 프로세스 툴 인터페이스에서 제공됩니다. 옆에 있는 사용 설명서를 다운로드하세요.
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