Edwards EMO 电缆，用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵
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Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆，允许用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型泵替换旧式 iH 系列泵。此 EMO 电缆适用于半导体工具在子工厂中连接多个旧式 iH 泵的应用。此接口模块电缆将 EMO 电路延续到剩余的旧式 iH 泵和新式 iXL120N 替换泵。下面详细介绍了连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上的 iTIM 的 P2（输出）连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器，再连接到右侧 iH 泵上的 iTIM 的 J1（输入）（详情请参阅我们的应用说明，pdf 格式）。
问题是 Edwards iH 系列泵现已停产，不再可用。Ideal Vacuum 备有替换泵，用于负载锁的 iXL120N、iXH100（替代 iH80）、iXH610（替代 iH600）等等。新款 iXL120N 泵没有像旧款 IH 泵那样在前面有 EMO 按钮（详情请参阅我们的应用说明）。Edwards iTIM 通常配置有旧款 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子工厂中的单个半导体工具。 EMO 电缆设置为当任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常以菊花链配置串联连接。
问题是 Edwards iH 系列泵现已停产，不再可用。Ideal Vacuum 备有替换泵，用于负载锁的 iXL120N、iXH100（替代 iH80）、iXH610（替代 iH600）等等。新款 iXL120N 泵没有像旧款 IH 泵那样在前面有 EMO 按钮（详情请参阅我们的应用说明）。Edwards iTIM 通常配置有旧款 Edwards iH 系列干式半导体真空泵，其中多个泵连接到子工厂中的单个半导体工具。 EMO 电缆设置为当任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具，它们通常以菊花链配置串联连接。
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