Edwards EMO 電纜，用於在現有舊式 iH 系列泵的工具上安裝新型 iXL 或 iXH 系列乾式半導體泵
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
<中心>
Edwards EMO 電纜，用於在現有舊式 iH 系列幫浦的工具上安裝新型 iXL 或 iXH 系列乾式半導體幫浦。
Ideal Vacuum 提供我們自己的介面電纜，可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替換舊型 iH 系列幫浦。這種 EMO 佈線對於半導體工具在子晶圓廠中連接有多個舊式 iH 幫浦的應用非常有用。此介面模組電纜延續了 EMO 電路，穿過剩餘的舊式 iH 泵浦和新型 iXL120N 替換泵浦。下面詳細描述連接和不同的介面模組。 此電纜通常從左側iH 上iTIM 的P2（輸出）連接到iXL120N 上的緊急停止(EMS) 連接器，再連接到右側iH 幫浦上iTIM 的J1（輸入）（詳細資訊請參閱pdf 格式的應用說明） 。
問題是 Edwards iH 系列幫浦現已停產且不再可用。 Ideal Vacuum 備有替換泵浦、用於負載鎖的 iXL120N、iXH100（替換 iH80）、iXH610（替換 iH600）等。與舊式 IH 幫浦不同，新型 iXL120N 幫浦的正面沒有 EMO 按鈕（請參閱我們的應用說明中的詳細資訊）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列乾式半導體真空泵，其中多個泵連接到子晶圓廠中的單個半導體工具。 EMO 佈線設定為在任何 iH 系列泵浦上按下 EMO 時關閉工具，它們通常以菊花鏈配置串聯佈線。
問題是 Edwards iH 系列幫浦現已停產且不再可用。 Ideal Vacuum 備有替換泵浦、用於負載鎖的 iXL120N、iXH100（替換 iH80）、iXH610（替換 iH600）等。與舊式 IH 幫浦不同，新型 iXL120N 幫浦的正面沒有 EMO 按鈕（請參閱我們的應用說明中的詳細資訊）。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列乾式半導體真空泵，其中多個泵連接到子晶圓廠中的單個半導體工具。 EMO 佈線設定為在任何 iH 系列泵浦上按下 EMO 時關閉工具，它們通常以菊花鏈配置串聯佈線。
请登录，以便我们通知您回复
