기존 구형 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 신형 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블
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Ideal Vacuum은 구형 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블은 반도체 도구에 서브 팹에 여러 개의 구형 iH 펌프가 부착된 애플리케이션에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 나머지 구형 iH 펌프와 신형 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속 이어갑니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에서 자세히 설명합니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH의 iTIM P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터로, 오른쪽 iH 펌프의 iTIM J1(입력)으로 연결됩니다(자세한 내용은 pdf 형식의 애플리케이션 노트 참조).
문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 현재 단종되어 더 이상 판매되지 않는다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프인 로드 록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 재고로 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프는 이전 스타일의 IH 펌프와 달리 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 종종 여러 펌프가 서브팹의 단일 반도체 도구에 연결되는 이전 스타일의 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되었습니다. EMO 케이블은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO가 눌리면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며, 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블이 연결됩니다.
문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 현재 단종되어 더 이상 판매되지 않는다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프인 로드 록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 재고로 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프는 이전 스타일의 IH 펌프와 달리 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 종종 여러 펌프가 서브팹의 단일 반도체 도구에 연결되는 이전 스타일의 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되었습니다. EMO 케이블은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO가 눌리면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며, 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블이 연결됩니다.
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