既存の旧式 iH シリーズ ポンプを搭載したツールに新型 iXL または iXH シリーズ ドライ セミコンダクタ ポンプを取り付けるための Edwards EMO ケーブル
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Ideal Vacuum は、旧式の iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 に交換できる独自のインターフェイス ケーブルを提供しています。この EMO ケーブルは、サブ ファブに複数の旧式の iH ポンプが取り付けられている半導体ツールのアプリケーションに便利です。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの旧式の iH ポンプと新型の iXL120N 交換用ポンプを EMO 回路で接続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力) から、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。
問題は、Edwards iH シリーズ ポンプが現在製造中止になっており、入手できないことです。Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、旧式の IH ポンプのように前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照してください)。Edwards iTIM は、サブファブ内の 1 つの半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていることがよくあります。 EMO ケーブルは、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されており、通常はデイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されます。
問題は、Edwards iH シリーズ ポンプが現在製造中止になっており、入手できないことです。Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、旧式の IH ポンプのように前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照してください)。Edwards iTIM は、サブファブ内の 1 つの半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていることがよくあります。 EMO ケーブルは、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されており、通常はデイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されます。
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