Câble Edwards EMO pour l'installation d'une pompe à semi-conducteur sec de nouvelle série iXL ou iXH sur un outil équipé de pompes de la série iH de style ancien
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Ideal Vacuum fournit son propre câble d'interface, qui permet de remplacer une pompe de série iH de nouvelle série par les pompes de type IXL120N, iXH100 ou iXH610. Ce câblage EMO est utile pour les applications où un outil à semi-conducteurs comporte plusieurs pompes iH de nouvelle série fixées dans la sous-usine. Ce câble de module d'interface continue le circuit EMO à travers les pompes iH de nouvelle série et à travers la pompe de remplacement de nouvelle série iXL120N. Les connexions et les différents modules d'interface sont décrits en détail ci-dessous. Ce câble est généralement connecté de P2 (sortie) de l'iTIM sur le côté gauche de la pompe iH, au connecteur d'arrêt d'urgence (EMS) sur l'iXL120N, à J1 (entrée) de l'iTIM sur le côté droit de la pompe iH (voir les détails dans notre note d'application au format PDF).
Le problème est que les pompes de la série Edwards iH ne sont plus fabriquées et ne sont plus disponibles. Ideal Vacuum stocke les pompes de remplacement, iXL120N pour le verrouillage de charge, iXH100 (remplace iH80), iXH610 (remplace iH600), etc. La nouvelle pompe iXL120N n'a pas de bouton EMO à l'avant comme les anciennes pompes IH (voir les détails dans notre note d'application). L'iTIM Edwards était souvent configuré avec des pompes à vide à semi-conducteurs secs de la série Edwards iH plus anciennes, où plusieurs pompes sont connectées à un seul outil à semi-conducteurs dans la sous-usine. Le câblage EMO est configuré pour arrêter l'outil si un EMO est enfoncé sur l'une des pompes de la série iH. Elles sont généralement câblées en série, dans une configuration en guirlande.
Le problème est que les pompes de la série Edwards iH ne sont plus fabriquées et ne sont plus disponibles. Ideal Vacuum stocke les pompes de remplacement, iXL120N pour le verrouillage de charge, iXH100 (remplace iH80), iXH610 (remplace iH600), etc. La nouvelle pompe iXL120N n'a pas de bouton EMO à l'avant comme les anciennes pompes IH (voir les détails dans notre note d'application). L'iTIM Edwards était souvent configuré avec des pompes à vide à semi-conducteurs secs de la série Edwards iH plus anciennes, où plusieurs pompes sont connectées à un seul outil à semi-conducteurs dans la sous-usine. Le câblage EMO est configuré pour arrêter l'outil si un EMO est enfoncé sur l'une des pompes de la série iH. Elles sont généralement câblées en série, dans une configuration en guirlande.
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