Edwards ドライ真空ポンプ iXL120 E 200-460VAC、3/8 QC 水継手、流量制御バルブ付き。PN: A54113011
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XL120 は、ウェーハ処理やその他のクリーン用途向けのコンパクトで低エネルギーの 110 m3h-1 ドライポンプです。非常に低いエネルギー消費でロードロックチャンバーの高速ポンプダウンを実現します。iXL120 は、ロードロックおよびクリーン用途で使用できる最も小型で軽量なポンプの 1 つです。振動と騒音レベルが低いため、ツール上またはファブのワッフルフロア内に取り付けるのに最適で、貴重なファブのフロアスペースを節約できます。グリーン モードでは、アイドル期間中のユーティリティの使用が削減され、ユーティリティ コストが削減され、環境保護に役立ちます。
クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます。 消費電力はわずか 0.55kW で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35oC の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます。 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースを節約できます。 オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置オプションが実現します。 窒素パージなしのオプションにより、窒素供給が不要になり、設置と運用コストが削減されます。
クラス最高のチャンバーポンプダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます。 消費電力はわずか 0.55kW で、お客様の所有コストを最小限に抑えることができます。 グリーン モードにより、アイドル期間中の消費電力を最大 92% 削減できます。 最大 35oC の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます。 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースを節約できます。 オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置オプションが実現します。 窒素パージなしのオプションにより、窒素供給が不要になり、設置と運用コストが削減されます。
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Edwards iXL120 の機能と利点:
- 窒素パージなしのオプションにより、窒素供給が不要になり、設置と運用コストが削減されます。
- オイル潤滑の精密ベアリングにより、日常的なメンテナンスなしでスムーズで低振動の動作が保証されます。
- 独自のデュアル入口配置により、効率的なフォアライン ルーティングと配置が実現します。オプション
- グリーン モードでは、アイドル期間中の電力消費を最大 92% 削減できます
- クラス最高のチャンバー ポンプ ダウン時間により、総平均サイクル時間 (TACT) が短縮されます
- 最大 35°C の給水により、施設の冷却水要件が軽減されます
- わずか 0.55 kW1 の消費電力により、お客様の所有コストが最小限に抑えられます
- 1 つのバリアントで、供給電圧範囲 200～460 V、50/60 Hz をカバーします
- 非常に小型で軽量なので、貴重な工場スペースを節約できます
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