Edwards 干式真空泵 iXL120 E 200-460VAC 1/4 QC 水配件。零件号：A54113020。
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XL120 是一款紧凑、低能耗、110 m3h-1 干式泵，适用于晶圆处理和其他清洁应用。它以极低的能耗快速抽空负载锁室。iXL120 是可用于负载锁和清洁应用的最小、最轻的泵之一。其低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或晶圆厂的华夫格地板内，有助于节省宝贵的晶圆厂地板空间。绿色模式允许在空闲期间减少公用设施的使用，降低公用设施成本并帮助保护环境。
一流的腔体泵停机时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 的功耗有助于最大限度地降低客户的拥有成本 绿色模式可以在空闲期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的水源有助于减少设施冷却水需求 非常小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置允许高效的前级管线布线和定位选项 零氮气吹扫选项无需氮气供应，节省安装和运营成本
一流的腔体泵停机时间缩短了总平均循环时间 (TACT) 仅 0.55kW 的功耗有助于最大限度地降低客户的拥有成本 绿色模式可以在空闲期间将功耗降低高达 92% 高达 35oC 的水源有助于减少设施冷却水需求 非常小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护 独特的双入口布置允许高效的前级管线布线和定位选项 零氮气吹扫选项无需氮气供应，节省安装和运营成本
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Edwards iXL120 的特点和优势：
- 零氮气吹扫选项无需氮气供应，节省安装和运营成本
- 油润滑精密轴承确保平稳、低振动运行，无需日常维护
- 独特的双入口布置允许高效的前级管线布线和定位选项
- 绿色模式可在空闲期间将功耗降低高达 92%
- 一流的腔室泵停机时间缩短了总平均循环时间 (TACT)
- 高达 35°C 的供水有助于减少设施冷却水需求
- 仅 0.55 kW1 的功耗有助于最大限度地降低客户的拥有成本
- 单一型号涵盖 200-460 V、50/60 Hz 的电源电压范围
- 非常小巧轻便，有助于节省宝贵的晶圆厂空间
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