Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC 1/4 QC 水配件。零件號碼：A54113020。
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Edwards 乾式真空幫浦 iXL120 E 200-460VAC 乾式 1/4 QC 水接頭。緊湊、小型、光。
XL120 是一款緊湊、低能耗、110 m3h-1 乾泵，適用於晶圓處理和其他清潔工作應用。它以極低的能耗提供負載鎖定室的快速抽真空。 iXL120 是適用於負載鎖定和清潔應用的最小、最輕的泵浦之一。其低振動和低噪音水平使其非常適合安裝在工具上或晶圓廠的華夫格地板內，有助於節省寶貴的晶圓廠佔地面積。綠色模式可以減少閒置期間的公用事業使用量，降低公用事業成本並有助於保護環境。
一流的腔室抽空時間縮短了總平均週期時間(TACT) 僅0.55kW 功耗有助於最大限度降低客戶擁有成本綠色模式可在閒置期間將功耗降低高達92% 高達35oC 的供水有助於降低設施冷卻水需求極小、極輕，有助於節省寶貴的晶圓廠太空油潤滑精密軸承確保平穩、低振動運行，無需日常維護獨特的雙入口佈置可實現高效的前置佈線和位置選擇零氮氣吹掃選項消除了對氮氣供應的需要，節省了安裝和營運成本
一流的腔室抽空時間縮短了總平均週期時間(TACT) 僅0.55kW 功耗有助於最大限度降低客戶擁有成本綠色模式可在閒置期間將功耗降低高達92% 高達35oC 的供水有助於降低設施冷卻水需求極小、極輕，有助於節省寶貴的晶圓廠太空油潤滑精密軸承確保平穩、低振動運行，無需日常維護獨特的雙入口佈置可實現高效的前置佈線和位置選擇零氮氣吹掃選項消除了對氮氣供應的需要，節省了安裝和營運成本
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Edwards iXL120 特性與優點：
- 零氮氣吹掃選項無需氮氣供應，從而節省安裝和運營成本
- 油潤滑精密軸承確保平穩、低振動運行，無需日常維護
- 獨特的雙入口佈置可實現高效的前線佈線和位置選擇
- 綠色模式可在空閒期間降低高達 92% 的功耗
- 一流的腔室抽氣時間縮短了總平均週期時間 (TACT)
- 高達 35°C 的供水有助於減少設施冷卻水需求
- 功耗僅 0.55 kW1，有助於最大限度降低客戶的擁有成本
- 單一型號覆蓋電源電壓範圍 200-460 V、50/60 Hz
- 極小巧輕便，有助於節省寶貴的晶圓廠空間
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