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適用於板載三相 Cryo-Torr 幫浦的 Edwards CTI 三相馬達控制器

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Edwards CTI 三相馬達控制器，用於板載三相 Cryo-Torr 幫浦 PN：PN：8124115G001 或 8043202G002


此 Edwards CTI 三相馬達控制器為 Onboard 三相 Cryo-Torr 低溫幫浦（例如 Onboard 8F 或 250F）供電。

此馬達控制器由 CTI 三 (3) 相氦壓縮機供電，例如 CTI Brooks 8200 或9600。 壓縮機和馬達控制器之間以及馬達控制器和三相 On-Board Cryo-Torr 低溫幫浦之間需要互連 10 針電源線。有兩種電纜長度選項。 3 英尺電纜為 P109744， 10 英尺電纜選項為 P109185。 需要兩條互連電源線。

8040366_Three-Phase-Motor-Controller-Manual.pdf (8040366_Three-Phase-Motor-Controller-Manual.pdf, 565 Kb) [下載]

ON-BOARD-4-6-8-250-400-500-Brooks-Cryopump-Install-Maint-Manual.pdf (ON-BOARD-4-6-8-250-400-500-Brooks-Cryopump-Install-Maint-Manual.pdf, 1,163 Kb) [下載]

Leybold-Oil-Sealed-Vacuum-Pumps_Catalog.pdf (Leybold-Oil-Sealed-Vacuum-Pumps_Catalog.pdf, 14,380 Kb) [下載]

CTI-OnBoard-Programming-Op-Manual.pdf (CTI-OnBoard-Programming-Op-Manual.pdf, 1,301 Kb) [下載]

CTI-On-Board-Networking-of-Pumps.pdf (CTI-On-Board-Networking-of-Pumps.pdf, 1,537 Kb) [下載]

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