Edwards CTI Cryo-Torr 10 真空ポンプ、10 インチ ANSI クライオポンプ、3,000 l/s 空気、9,000 l/s 水蒸気。PN: 8116174G001
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Edwards 部品番号: 8116174G001。
Edwards Cryo-Torr ポンプ 10 は、Cryo-Torr ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントの 1 つです。2 つ目のコンポーネントはコンプレッサーです (この Web サイトでも販売されています)。
これは Cryo-Torr CTI 10 ポンプで、10-3 ～ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、および R&D が含まれます。クライオポンプは、ガスを凝縮して非常に低い蒸気圧に保持し、高速およびスループットを実現するという原理で動作します。この Cryo-Torr 10 ポンプは、メンテナンスが最小限で済む、信頼性が高く頑丈なユニットです。クライオポンプは可動部品、作動流体、または補助ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性が排除されます。これは Cryo-Torr 10 ポンプのみで、コンプレッサー、ケーブル、粗引きポンプ、およびその他のアクセサリはこの Web サイトで入手できます。
説明、インストール、再生、およびメンテナンスの手順は、ダウンロード セクションの Manual.pdf にすべて記載されています。
説明、インストール、再生、およびメンテナンスの手順は、ダウンロード セクションの Manual.pdf にすべて記載されています。
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