Pompe cryogénique à semi-conducteur à vide ultra-élevé Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F, non intégrée, LF ISO 250, triphasée, reconstruite
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Numéro de pièce Edwards CTI Brooks : 8116086G002.
La pompe cryogénique à vide ultra-élevé Edwards CTI-Cryogenics (maintenant Edwards) Cryo-Torr OB250F, triphasée, est spécialement conçue et construite pour les performances améliorées et les exigences d'espace restreint pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs.
Cette pompe cryogénique est dotée d'une bride d'admission ISO 250 et d'une bride de pompe primaire standard KF-25. Elle est capable de réaliser un vide ultra-élevé (UHV) de 10-8 Torr avec des vitesses de pompage nominales de :
Cette pompe triphasée Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F fonctionne UNIQUEMENT sur une alimentation triphasée. L'alimentation électrique est fournie par un contrôleur de moteur triphasé CTI spécial.
La pompe cryogénique triphasée CTI Cryo-Torr 250F n'expose aucune pièce mobile, aucun fluide de fonctionnement ni aucune pompe de secours au vide, ce qui élimine la possibilité d'un reflux du système ou d'une contamination du processus par la pompe cryogénique elle-même.
Cette pompe cryogénique est dotée d'une bride d'admission ISO 250 et d'une bride de pompe primaire standard KF-25. Elle est capable de réaliser un vide ultra-élevé (UHV) de 10-8 Torr avec des vitesses de pompage nominales de :
- Eau ………. 6 500 l/sec
- Air ………..…. 2 200 l/sec
- Hydrogène ..…. 3 200 l/sec
- Argon ………. 1 800 l/sec
Cette pompe triphasée Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F fonctionne UNIQUEMENT sur une alimentation triphasée. L'alimentation électrique est fournie par un contrôleur de moteur triphasé CTI spécial.
La pompe cryogénique triphasée CTI Cryo-Torr 250F n'expose aucune pièce mobile, aucun fluide de fonctionnement ni aucune pompe de secours au vide, ce qui élimine la possibilité d'un reflux du système ou d'une contamination du processus par la pompe cryogénique elle-même.
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