Edwards CTI 15K 炭阵列套件，适用于 CT-100 低温泵，OEM 零件编号 8080006K003
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仅维护套件
这是 Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 低温泵的替换 15k 阵列。它包含更换 CTI Cryo-Torr CT-100 低温泵中的木炭阵列所需的所有组件，包括顶板和铟垫圈。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 泵是组成 Cryo-Torr 泵送系统的两个主要组件之一。 第二个组件是压缩机（也在此网站上出售）。 Cryo-Torr CT-100Cryopump 可快速、清洁地抽取 10-3 至 10-9 Torr 范围内的所有气体。标准应用包括半导体、航空航天和真空涂层以及研发。低温泵的工作原理是气体可以冷凝并保持在极低的蒸气压下，从而实现高速度和高吞吐量。该泵是一种高度可靠且坚固耐用的装置，只需极少的维护。由于低温泵不会将任何运动部件、工作液或后备泵暴露在真空中，因此消除了低温泵本身对系统或工艺造成污染的可能性。 下面可下载的 Cryo Torr 泵安装、操作和维护说明 .pdf 中完全涵盖了说明、安装、再生和维护程序。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 泵是组成 Cryo-Torr 泵送系统的两个主要组件之一。 第二个组件是压缩机（也在此网站上出售）。 Cryo-Torr CT-100Cryopump 可快速、清洁地抽取 10-3 至 10-9 Torr 范围内的所有气体。标准应用包括半导体、航空航天和真空涂层以及研发。低温泵的工作原理是气体可以冷凝并保持在极低的蒸气压下，从而实现高速度和高吞吐量。该泵是一种高度可靠且坚固耐用的装置，只需极少的维护。由于低温泵不会将任何运动部件、工作液或后备泵暴露在真空中，因此消除了低温泵本身对系统或工艺造成污染的可能性。 下面可下载的 Cryo Torr 泵安装、操作和维护说明 .pdf 中完全涵盖了说明、安装、再生和维护程序。
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