適用於 CT-100 低溫幫浦的 Edwards CTI 15K 木炭陣列套件，OEM 零件號 8080006K003
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僅維護套件
這是 Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 低溫幫浦的替換 15k 陣列。它包含更換 CTI Cryo-Torr CT-100 冷凍泵中的木炭陣列所需的所有組件，包括頂板和銦墊片。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 幫浦是兩種幫浦之一
構成 Cryo-Torr 泵浦系統的主要組件。這
第二個組件是壓縮機（也在該網站上出售）。
Cryo-Torr CT-100 低溫幫浦可為 10-3 至 10-9 Torr 範圍內的所有氣體提供快速、乾淨的幫浦。標準應用包括半導體、航空航天和航空航天真空鍍膜以及研發。低溫泵的工作原理是氣體可以冷凝並保持在極低的蒸氣壓下，從而實現高速度和吞吐量。該泵是一種高度可靠且堅固耐用的裝置，需要最少的維護。由於低溫泵沒有將任何移動部件、工作流體或前級泵暴露在真空中，因此消除了低溫泵本身造成系統或製程污染的可能性。
Cryo Torr 幫浦安裝、操作和維護說明 .pdf 完全涵蓋了說明、安裝、再生和維護程序，可供下載。
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