CT-100 크라이오펌프용 Edwards CTI 15K 숯 어레이 키트, OEM 부품 번호 8080006K003
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유지 관리 키트만
이것은 Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 크라이오 펌프의 교체용 15k 어레이입니다. 여기에는 상판과 인듐 개스킷을 포함하여 CTI Cryo-Torr CT-100 크라이오 펌프의 숯 어레이를 교체하는 데 필요한 모든 구성 요소가 포함되어 있습니다.
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 펌프는 Cryo-Torr 펌핑 시스템을 구성하는 두 가지 주요 구성 요소 중 하나입니다. 두 번째 구성 요소는 압축기(이 웹사이트에서도 판매)입니다. Cryo-Torr CT-100Cryopump는 10-3~10-9 Torr 범위의 모든 가스를 빠르고 깨끗하게 펌핑합니다. 표준 응용 분야로는 반도체, 항공우주 및 진공 코팅과 R&D가 있습니다. 크라이오 펌프는 가스를 응축하여 매우 낮은 증기압으로 유지하여 고속과 처리량을 달성할 수 있다는 원리에 따라 작동합니다. 이 펌프는 최소한의 서비스가 필요한 매우 안정적이고 견고한 장치입니다. 크라이오 펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 진공에 노출시키지 않으므로 크라이오 펌프 자체에서 시스템 또는 프로세스가 오염될 가능성이 없습니다. 설명, 설치, 재생 및 유지 관리 절차는 아래에서 다운로드할 수 있는 Cryo Torr 펌프 설치, 작동 및 유지 관리 지침 .pdf에 완전히 포함되어 있습니다.
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 펌프는 Cryo-Torr 펌핑 시스템을 구성하는 두 가지 주요 구성 요소 중 하나입니다. 두 번째 구성 요소는 압축기(이 웹사이트에서도 판매)입니다. Cryo-Torr CT-100Cryopump는 10-3~10-9 Torr 범위의 모든 가스를 빠르고 깨끗하게 펌핑합니다. 표준 응용 분야로는 반도체, 항공우주 및 진공 코팅과 R&D가 있습니다. 크라이오 펌프는 가스를 응축하여 매우 낮은 증기압으로 유지하여 고속과 처리량을 달성할 수 있다는 원리에 따라 작동합니다. 이 펌프는 최소한의 서비스가 필요한 매우 안정적이고 견고한 장치입니다. 크라이오 펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 진공에 노출시키지 않으므로 크라이오 펌프 자체에서 시스템 또는 프로세스가 오염될 가능성이 없습니다. 설명, 설치, 재생 및 유지 관리 절차는 아래에서 다운로드할 수 있는 Cryo Torr 펌프 설치, 작동 및 유지 관리 지침 .pdf에 완전히 포함되어 있습니다.
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