Edwards CTI 15K チャコールアレイキット、CT-100 クライオポンプ用、OEM 部品番号 8080006K003
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メンテナンス キットのみ
これは、Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 クライオポンプの交換用 15k アレイです。トップ プレートとインジウム ガスケットを含む、CTI Cryo-Torr CT-100 クライオポンプのチャコール アレイを交換するために必要なすべてのコンポーネントが含まれています。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 ポンプは、Cryo-Torr ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントの 1 つです。2 つ目のコンポーネントはコンプレッサーです (この Web サイトでも販売されています)。 Cryo-Torr CT-100 クライオポンプは、10-3 ～ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、R&D などがあります。クライオポンプは、ガスを凝縮して非常に低い蒸気圧に保持し、高速かつスループットを実現するという原理で動作します。このポンプは、メンテナンスが最小限で済む、信頼性が高く頑丈なユニットです。クライオポンプは可動部品、作動流体、またはバックアップ ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性は排除されます。 説明、インストール、再生、およびメンテナンスの手順は、以下からダウンロードできる Cryo Torr ポンプのインストール、操作、およびメンテナンス手順 .pdf にすべて記載されています。
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 ポンプは、Cryo-Torr ポンプ システムを構成する 2 つの主要コンポーネントの 1 つです。2 つ目のコンポーネントはコンプレッサーです (この Web サイトでも販売されています)。 Cryo-Torr CT-100 クライオポンプは、10-3 ～ 10-9 Torr の範囲のすべてのガスを高速かつクリーンにポンピングします。標準的な用途には、半導体、航空宇宙、真空コーティング、R&D などがあります。クライオポンプは、ガスを凝縮して非常に低い蒸気圧に保持し、高速かつスループットを実現するという原理で動作します。このポンプは、メンテナンスが最小限で済む、信頼性が高く頑丈なユニットです。クライオポンプは可動部品、作動流体、またはバックアップ ポンプを真空にさらさないため、クライオポンプ自体によるシステムまたはプロセスの汚染の可能性は排除されます。 説明、インストール、再生、およびメンテナンスの手順は、以下からダウンロードできる Cryo Torr ポンプのインストール、操作、およびメンテナンス手順 .pdf にすべて記載されています。
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