エドワーズ AIGX-S アクティブイオンゲージ NW25、KF25、10-2 ～ 10-10 Torr
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Edwards 部品番号 D04850000
デュアルイットリアコーティングイリジウムフィラメント、5 x 10-2 Torr ～ 5 x 10-10 Torr の広い測定範囲、1 ボルト/10 倍のリニア出力を備えた Edwards コンパクトアクティブイオンゲージ。
Edwards 社の新しい AIGX-S ゲージには、業界標準のアクティブ ゲージ コンセプトの利点がすべて組み込まれており、一体型電子機器と ユーザーが交換可能なセンサー チューブ を備えています。ゲージには脱ガス機能があり、フィラメントを保護して寿命を延ばす機能も備えています。AIGX-S は、荷電粒子の放出が非常に少ないため、バックグラウンド ノイズが望ましくないプロセスに最適です。アクティブ ゲージ ケーブル FCC68/RJ45 とコントローラーは付属していません。この AIGX-S アクティブ イオン ゲージの詳細な仕様と機能については、以下のダウンロード可能な場所から取扱説明書 .pdf をダウンロードしてください:
機能:
機能:
- 5 x 10-2 から 5 x 10-10 Torr までの 8 桁の圧力測定
- 主要な競合製品と比較して、荷電粒子プロセス汚染が最大 30 倍削減
- ユーザー交換可能なイオン センサー チューブ
- CSA、C/US 承認
- ATM で電源を入れ、高圧で稼働または脱ガスするのを防ぐ自動フィラメント保護
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