Edwards AIGX-S アクティブイオンゲージ DN16CF Conflat CF 1.33 インチ、10-2 ～ 10-10 Torr
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Edwards 部品番号 D04851000
Edwards コンパクトアクティブイオンゲージは、デュアルイットリアコーティングイリジウムフィラメント、5 x 10-2 Torr ～ 5 x 10-10 Torr の広い測定範囲、1 ボルト/10 倍のリニア出力を備えています。
Edwards 社の新しい AIGX-S ゲージには、業界標準のアクティブ ゲージ コンセプトの利点がすべて組み込まれており、一体型電子機器と ユーザーが交換可能なセンサー チューブ を備えています。ゲージには脱ガス機能があり、フィラメントを保護して寿命を延ばす機能も含まれています。AIGX-S は、荷電粒子の放出が非常に少ないという利点があるため、バックグラウンド ノイズが望ましくないプロセスに最適です。アクティブ ゲージ ケーブル FCC68/RJ45 とコントローラーは付属していません。この AIGX-S アクティブ イオン ゲージの詳細な仕様と機能については、以下のダウンロード可能な場所から取扱説明書 .pdf をダウンロードしてください:
機能:
機能:
- 5 x 10-2 から 5 x 10-10 Torr までの 8 桁の圧力測定
- 主要な競合製品と比較して、荷電粒子プロセス汚染を最大 30 倍削減
- ユーザーによるイオン センサー チューブの交換が可能
- CSA、C/US 認定
- ATM でのスイッチオンおよび高圧での動作または脱ガスに対する自動フィラメント保護
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