Ebara ESR20N 多级干式真空泵，抽气速度 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），水冷，3 相，200-220V，60Hz。零件号：202093
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Ebara 零件编号：202093。
Ebara ESR 系列（节能罗茨）是多级干式真空泵，专为从清洁到中等负荷工艺的应用而设计。Ebara ESR 系列涵盖从 45 到 706 CFM 的广泛抽气速度，极限压力低至 1.5 mTorr。此列表用于销售 Ebara ESR20N 多级干式真空泵，120cfm 2000l/m，清洁至中型工艺，水冷，200-220V / 3Ph，PN：202093。
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应用
- 溅射
- PVD
- 负载锁定和转移
- 灰化
- 离子注入机
- 蚀刻
- 清洁气体和工艺
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Ebara EV-A 系列干式旋转叶片泵的优点和特点。
- 低拥有成本 [电力、N2、水、占地面积、体积、重量]
- 在清洁应用中，ESR20N 无需氮气吹扫
- 可变抽速以满足应用要求
- 高性能无刷直流电机
- 最先进的控制和监控设备
- 可采用空闲模式以增加公用事业节省
- 通过 SEMI S2 评估、NRTL 认证、CE 标志
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