Ebara ESR20N 多級乾式真空泵，抽速 45 至 70 CFM (1300 - 2000 l/m)，水冷，三相，200-220V，60Hz。編號：202093
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Ebara ESR20N 多級乾式真空泵，抽速 45 至 70 CFM（1300 - 2000 l/m），清潔至中型工藝，水冷，三相，200-220V，60Hz。
荏原零件號：202093。
Ebara ESR 系列（節能羅茨）是多級乾式真空泵，專為從清潔到中型製程的應用而設計。 Ebara ESR 系列涵蓋 45 至 706 CFM 的廣泛抽速，極限壓力低至 1.5 mTorr。此清單用於銷售 Ebara ESR20N 多級乾式真空泵，120cfm 2000l/m，清潔到中型工藝，水冷，200-220V / 3Ph，PN：202093。
荏原零件號：202093。
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應用程式
- 濺鍍
- PVD
- 裝載鎖定和轉移
- 灰化
- 離子注入機
- 蝕刻
- 清潔氣體和製程
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Ebara EV-A 系列乾式旋轉凸輪幫浦的優點與特性。
- 擁有成本低[電力、氮氣、水、佔地面積、體積、重量]
- ESR20N 在清潔應用中無需氮氣吹掃
- 可變抽速以滿足應用需求
- 高效能無刷直流馬達
- 最先進的控制和監控設備
- 可以採用空閒模式來節省電費
- 經過 SEMI S2 評估、經 NRTL 認證、取得 CE 標誌
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