Ebara ESR20N 다단 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45~70 CFM(1300~2000 l/m), 수냉식, 3상, 200~220V, 60Hz. PN: 202093
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Ebara 부품 번호: 202093.
Ebara ESR 시리즈(에너지 절약형 Roots)는 청정~중간 부하 공정에 이르기까지 다양한 용도에 맞게 설계된 다단 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 45~706 CFM의 광범위한 펌핑 속도를 포괄하며 궁극 압력은 1.5 mTorr로 낮습니다. 이 목록은 Ebara ESR20N 다단 건식 진공 펌프, 120cfm 2000l/m, 청정에서 중간 부하 공정, 수냉식, 200-220V/3Ph, PN: 202093을 판매하기 위한 것입니다.
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응용 분야
- 스퍼터링
- PVD
- 로드 잠금 및 전송
- 애싱
- 이온 이식기
- 에칭
- 청정 가스 및 공정
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Ebara EV-A 시리즈 건식 회전 로브 펌프의 이점 및 특징.
- 저렴한 소유 비용[전력, N2, 물, 발자국, 부피, 무게]
- 깨끗한 응용 분야에서 ESR20N에 질소 퍼지가 필요 없음
- 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도
- 고성능 무브러시 DC 모터
- 최첨단 제어 및 모니터링 장치
- 유휴 모드를 사용하여 유틸리티 비용 절감 가능
- SEMI S2 평가, NRTL 인증, CE 마크
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