エバラ ESR20N 多段ドライ真空ポンプ、排気速度 45 ～ 70 CFM (1300 ～ 2000 l/m)、水冷式、3 相、200 ～ 220V、60Hz。PN: 202093
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Ebara 部品番号: 202093。
Ebara ESR シリーズ (省エネルーツ) は、クリーンから中程度の負荷のプロセスまでさまざまな用途向けに設計された多段ドライ真空ポンプです。Ebara ESR シリーズは、45 ～ 706 CFM の幅広い排気速度をカバーし、到達圧力は 1.5 mTorr まで低く抑えられます。このリストは、Ebara ESR20N 多段ドライ真空ポンプ、120cfm 2000l/m、クリーンから中程度の負荷のプロセス、水冷式、200-220V / 3Ph、PN: 202093 の販売です。
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用途
- スパッタリング
- PVD
- ロードロックとトランスファー
- アッシング
- イオン注入装置
- エッチング
- クリーンなガスとプロセス
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Ebara EV-A シリーズ ドライ ロータリー ローブ ポンプの利点と機能。
- 所有コストが低い [電力、N2、水、設置面積、容積、重量]
- クリーン アプリケーションでは ESR20N に窒素パージは不要
- アプリケーション要件に合わせた可変ポンピング速度
- 高性能ブラシレス DC モーター
- 最先端の制御および監視デバイス
- ユーティリティの節約を増やすためにアイドル モードを使用できます
- SEMI S2 評価済み、NRTL リスト、CE マーク
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