Ebara ESR20N-HT 多段ドライ真空ポンプ、排気速度 45 ～ 70 CFM (1300 ～ 2000 l/m)、加熱サイレンサー付き、水冷式、3 相、200 ～ 220V、60Hz。PN: 203537
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Ebara 部品番号: 203537。
Ebara ESR シリーズ (省エネルーツ) は、クリーンから中程度の負荷プロセスまでのアプリケーション向けに設計された多段ドライ真空ポンプです。Ebara ESR シリーズは、35 ～ 1,625 CFM の幅広い排気速度範囲をカバーし、到達圧力は 1 mTorr まで低く抑えられます。このリストは、Ebara ESR20N-HT 多段ドライ真空ポンプ、120cfm 2000l/m、加熱サイレンサー付き、クリーンから中程度の負荷のプロセス、水冷、200-220V / 3Ph、PN: 203537 の販売です。
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用途
- スパッタリング
- PVD
- ロードロックとトランスファー
- アッシング
- イオン注入装置
- エッチング
- クリーンなガスとプロセス
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Ebara EV-A シリーズ ドライ ロータリー ローブ ポンプの利点と機能。
- 所有コストが低い [電力、N2、水、設置面積、容積、重量]
- クリーン アプリケーションでは ESR20N に窒素パージは不要
- アプリケーション要件に合わせた可変ポンピング速度
- 高性能ブラシレス DC モーター
- 最先端の制御および監視デバイス
- ユーティリティの節約を増やすためにアイドル モードを使用できます
- SEMI S2 評価済み、NRTL リスト、CE マーク
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