Pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, vitesse de pompage de 45 à 70 CFM (1 300 à 2 000 l/m), avec silencieux chauffé, refroidie par eau, triphasée, 200-220 V, 60 Hz. Réf. : 203537

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Pompe à vide sèche multi-étages Ebara ESR20N-HT, vitesse de pompage de 45 à 70 CFM (1300 - 2000 l/m), avec silencieux chauffé, processus propres à moyens, refroidie par eau, triphasée, 200-220 V, 60 Hz.
Référence Ebara : 203537.

La série ESR d'Ebara (Energy Saving Roots) comprend des pompes à vide sèches multi-étages conçues pour des applications allant des processus propres aux processus moyens. La série ESR d'Ebara couvre une large plage de vitesses de pompage de 35 à 1 625 CFM avec une pression ultime aussi basse que 1 mTorr. Cette liste concerne la vente de la pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, 120cfm 2000l/m, avec silencieux chauffé, processus propres à moyens, refroidie par eau, 200-220V / 3Ph, PN: 203537.

    Applications

  • Pulvérisation
  • PVD
  • Verrouillage de charge et transfert
  • Incinération
  • Implantateur d'ions
  • Gravure
  • Gaz et processus propres

    Avantages et caractéristiques des pompes à lobes rotatifs secs de la série EV-A d'Ebara.

  • Faible coût de possession [puissance, N2, eau, empreinte, volume, poids]
  • Aucune purge d'azote requise pour l'ESR20N dans les applications propres
  • Vitesse de pompage variable pour répondre aux exigences de l'application
  • Moteurs CC sans balais hautes performances
  • Dispositifs de contrôle et de surveillance de pointe
  • Le mode veille peut être utilisé pour augmenter les économies d'énergie
  • Évaluation SEMI S2, homologué NRTL, marquage CE



EBARA-ESR-Series-Dry-Pump-Specifications_Datasheet.pdf (EBARA-ESR-Series-Dry-Pump-Specifications_Datasheet.pdf, 316 Kb) [Télécharger]

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