Pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, vitesse de pompage de 45 à 70 CFM (1 300 à 2 000 l/m), avec silencieux chauffé, refroidie par eau, triphasée, 200-220 V, 60 Hz. Réf. : 203537
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Référence Ebara : 203537.
La série ESR d'Ebara (Energy Saving Roots) comprend des pompes à vide sèches multi-étages conçues pour des applications allant des processus propres aux processus moyens. La série ESR d'Ebara couvre une large plage de vitesses de pompage de 35 à 1 625 CFM avec une pression ultime aussi basse que 1 mTorr. Cette liste concerne la vente de la pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N-HT, 120cfm 2000l/m, avec silencieux chauffé, processus propres à moyens, refroidie par eau, 200-220V / 3Ph, PN: 203537.
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Applications
- Pulvérisation
- PVD
- Verrouillage de charge et transfert
- Incinération
- Implantateur d'ions
- Gravure
- Gaz et processus propres
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Avantages et caractéristiques des pompes à lobes rotatifs secs de la série EV-A d'Ebara.
- Faible coût de possession [puissance, N2, eau, empreinte, volume, poids]
- Aucune purge d'azote requise pour l'ESR20N dans les applications propres
- Vitesse de pompage variable pour répondre aux exigences de l'application
- Moteurs CC sans balais hautes performances
- Dispositifs de contrôle et de surveillance de pointe
- Le mode veille peut être utilisé pour augmenter les économies d'énergie
- Évaluation SEMI S2, homologué NRTL, marquage CE
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